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面精度λから、PV(Peak to Valley)山から谷までの最大誤差値による波面収差
RMS(Reast Mean Square)平均2乗平方根による波面収差値を算出します。
干渉計の使用波長 【He-Ne 633nm】
   
面精度を指定します。 λ/   

 PV (Peak to Valley) 山から谷までの最大誤差値から
     
⇒⇒ 面精度λによる波面収差を算出 ・・・ PV(0.158)≒λ/4)
干渉計の使用波長 【He-Ne 633nm】
      
干渉計PV値    

 RMS(Reast Mean Square)平均2乗平方根から
    
⇒⇒ 面精度λによる波面収差を算出します ・・・ RMS(0.025)≒λ/4)
干渉計の使用波長 【He-Ne 633nm】
      干渉計RMS値    

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